提供分子结构和原子价态、化合物的元素组成和含量, 化学状态,分子结构, 化学键方面的信息以及给出表面,微小区域和深度分布方面的信息。可实现全谱扫描、高分辨多点分析、溅射深度剖析、线扫描、化学成像、自动分析以及用户自定义设定等功能。